服務(wù)熱線
13042167026
產(chǎn)品時間：2022-04-26 14:42:48
簡要描述：
質(zhì)量流量控制器是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵，其利用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同氣體進行流量測量和控制質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用十分廣泛，可應(yīng)對毫升級至數(shù)百升級的氣體流量控制范圍的工況需求，且不受環(huán)境溫度和壓力的變化影響。質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過質(zhì)量流量控制器（簡稱MFC）時，大部分氣體通過層流元件，成比例的部分氣體通過流量傳感
質(zhì)量流量控制器是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵，其利用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同氣體進行流量測量和控制
質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用十分廣泛，可應(yīng)對毫升級至數(shù)百升級的氣體流量控制范圍的工況需求，且不受環(huán)境溫度和壓力的變化影響。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過質(zhì)量流量控制器（簡稱MFC）時，大部分氣體通過層流元件，成比例的部分氣體通過流量傳感器。基于雷諾輸送定理，采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號轉(zhuǎn)化為電信號，以此為基準(zhǔn)測量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小。微控制器比較設(shè)定信號與實際流量的差值，并驅(qū)動電陶瓷，實際動態(tài)的調(diào)整當(dāng)前流量大小，已達到理想的設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍2-100%F.S.
上一篇：沒有了
下一篇：沒有了
Copyright ? 2010-2020 SKYCO 版權(quán)所有 滬ICP備12019378號-15
地址：上海市青浦區(qū)盈港東路6400號 電話：13042167026 郵箱：hongxing.zhang@skyco.cn
技術(shù)支持：濟南網(wǎng)站建設(shè)
關(guān)注我們